【会場 ： 東6ホール セミナー会場 6】

材料の高機能化、電子・電気部品の微細化、ナノテクノロジーなどの発達により、微細な領域の分析が求められている。蛍光X線分析は試料を構成する元素の定性、定量及び試料の結晶構造などが非破壊で分析ができる。今回はX線を最小直径10μm径まで絞り込める微小部蛍光X線分析装置XGT-9000をメインに分析例を紹介する。